MPCVD法同质外延生长单晶金刚石 被引量：7

1

作者 严垒 马志斌 +3 位作者 陈林 付秋明 吴超 高攀 《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第1期92-96,共5页

利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在高温高压(HPHT)下制备的单晶片上进行单晶金刚石同质外延生长,研究了甲烷浓度和衬底温度对金刚石生长的影响。利用扫描电子显微镜与激光拉曼光谱仪对生长前后的样品进行表征。结果表明,利用HPH... 利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法在高温高压(HPHT)下制备的单晶片上进行单晶金刚石同质外延生长,研究了甲烷浓度和衬底温度对金刚石生长的影响。利用扫描电子显微镜与激光拉曼光谱仪对生长前后的样品进行表征。结果表明,利用HPHT单晶片上生长时,主要为层状生长和丘状生长模式,丘状生长易出现多晶结构。降低甲烷浓度能够降低丘状生长密度,提高金刚石表面平整度;金刚石生长速率随甲烷浓度、工作气压和衬底温度的增加而提高,但过高的甲烷浓度(72%)和衬底温度(1 150℃)会降低金刚石的质量。所生长出的单晶金刚石质量较为理想,衬底与生长层之间过渡比较自然,金刚石结晶度高,缺陷密度小,但随膜层增厚,非晶碳含量有所增加。 展开更多

关键词 微波等离子体化学气相沉积 同质外延 单晶金刚石

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CVD单晶金刚石的研究进展 被引量：6

2

作者 吴超 马志斌 +1 位作者 严垒 高攀 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第1期57-63,共7页

化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。近年来,MPCVD合成单晶金刚石在质量、速率、尺寸以及应... 化学气相沉积(CVD)单晶金刚石是近年来金刚石领域研究焦点之一,在众多合成方法中,微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是诸多学者公认的稳定生长均匀高质量单晶金刚石最有前途的技术。近年来,MPCVD合成单晶金刚石在质量、速率、尺寸以及应用上取得了重大的进展,但是目前仍然有一个问题需要解决,即如何在保证质量的前提下大幅度提高单晶金刚石的生长速率。本文对CVD单晶金刚石过程中衬底的选择、表面加工与处理、基座的结构和沉积参数的选择进行了详细评述,并简要介绍了CVD单晶金刚石国内外研发成果。 展开更多

关键词 化学气相沉积 单晶金刚石 生长参数 研究成果

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激光切割CVD金刚石膜的工艺研究 被引量：5

3

作者 严垒 吴飞飞 +2 位作者 邓煜恒 湛玉龙 马志斌 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2012年第5期6-9,14,共5页

利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机对表面经机械抛光的CVD金刚石膜进行切割,研究了激光焦点位置、重复频率、充电电压以及切割速率对切割面质量的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、TR200型粗糙度仪和XJP-3C型金相显微镜对切割结果进行了表征。研究表明:将激光焦点置于金刚石膜表面进行切割时,切割面锥度最小;切割面的粗糙度随着激光切割速率、重复频率的增加而减小;充电电压越高,切缝越宽;激光重复频率在80～100 Hz范围内,其变化对切缝宽度影响较小;切割2.7 mm厚的金刚石厚膜时,选取充电电压850 V,重复频率90 Hz,切割速率10 mm/min,能够达到高效率高质量的理想切割效果。 展开更多

关键词 激光 切割 CVD金刚石膜

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CVD金刚石中的氮对等离子体刻蚀的影响 被引量：4

4

作者 吴俊 马志斌 +3 位作者 沈武林 严垒 潘鑫 汪建华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期262-268,共7页

采用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体分别对沉积过程中掺氮和未掺氮的化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀研究,结果表明:掺氮制备的金刚石膜的刻蚀主要集中在晶棱处,经过4h刻蚀后其表面粗糙度由刻蚀前的4.761μm下降至3.701μm,刻蚀对金... 采用非对称磁镜场电子回旋共振等离子体分别对沉积过程中掺氮和未掺氮的化学气相沉积金刚石膜进行了刻蚀研究,结果表明:掺氮制备的金刚石膜的刻蚀主要集中在晶棱处,经过4h刻蚀后其表面粗糙度由刻蚀前的4.761μm下降至3.701μm,刻蚀对金刚石膜的表面粗糙度的影响较小;而未掺氮制备的金刚石膜的刻蚀表现为晶面的均匀刻蚀,晶粒坍塌,刻蚀4h后其表面粗糙度由刻蚀前的3.061μm下降至1.083μm.刻蚀导致表面粗糙度显著降低.上述差别的主要原因在于金刚石膜沉积过程中掺氮导致氮缺陷在金刚石晶棱处富集,晶棱处电子发射加强,引导离子向晶棱运动并产生刻蚀,从而加剧晶棱的刻蚀.而未掺氮金刚石膜,其缺陷相对较少且分布较均匀,刻蚀时整体呈现为(111)晶面被均匀刻蚀继而晶粒坍塌的现象. 展开更多

关键词 掺氮 金刚石膜 刻蚀 非对称磁镜场

原文传递

微波等离子体化学气相沉积金刚石光谱分析 被引量：3

5

作者 马志斌 陶利平 +1 位作者 翁国峰 严垒 《武汉工程大学学报》 CAS 2012年第6期49-52,共4页

采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19 nm)、Hβ(486.71 nm)和Hγ(434.56 nm)谱线,以及基团CH(431.31 nm)、C2(... 采用等离子体光谱分析微波等离子体化学气相(MPCVD)沉积金刚石过程中基团的空间分布及甲烷浓度变化时基团浓度的变化情况.实验过程中分别测量了氢原子的Hα(656.19 nm)、Hβ(486.71 nm)和Hγ(434.56 nm)谱线,以及基团CH(431.31 nm)、C2(515.63 nm)谱线.结果表明:氢原子和基团CH、C2的浓度沿等离子体柱的径向先增加再减小.随着甲烷浓度逐步增加,氢原子及基团CH、C2的浓度相应增加,其中C2基团所受影响最大. 展开更多

关键词 等离子体光谱 金刚石 基团 空间分布 甲烷浓度

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高温高压金刚石衬底上的同质外延生长研究 被引量：2

6

作者 严垒 马志斌 +3 位作者 曹为 吴超 高攀 张田田 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1420-1424,共5页

在自主研发的小功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上利用高温高压(HPHT)单晶金刚石片为衬底进行了金刚石同质外延生长的研究。研究了甲烷浓度、工作气压对金刚石生长速率的影响。测量了金刚石外延生长过程中等离子体的发射光谱,... 在自主研发的小功率微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置上利用高温高压(HPHT)单晶金刚石片为衬底进行了金刚石同质外延生长的研究。研究了甲烷浓度、工作气压对金刚石生长速率的影响。测量了金刚石外延生长过程中等离子体的发射光谱,利用扫描电子显微镜(SEM)和数码相机对生长前后金刚石的形貌进行了表征,利用激光拉曼光谱对金刚石的质量进行了分析。结果表明:一定程度内,适当升高工作气压和甲烷浓度能够有效提高金刚石的生长速率;在外延生长过程会产生过多的丘状体,导致许多金刚石颗粒的产生,影响其生长时间和质量,通过生长、刻蚀相结合的方法能够有效延长生长时间,改善生长形貌;外延生长出的金刚石的激光拉曼图谱中金刚石1332 cm-1特征峰明显、尖锐,荧光背底低,非金刚石相特征峰较低。 展开更多

关键词 高温高压 金刚石单晶 同质外延

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激光轴向偏焦法平整化CVD金刚石膜 被引量：1

7

作者 严垒 马志斌 +2 位作者 张璋 邓煜恒 王兴立 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第8期1916-1920,共5页

利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置... 利用Nd:YAG型金刚石精密激光切割机,采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积(CVD)法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理,利用扫描电子显微镜(SEM)、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征,研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响,以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明:扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大;凹槽深度随激光充电电压的升高而增大,随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后,其粗糙度显著减小,利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理,能够有效去除表层石墨,从而达到理想的平整化效果。 展开更多

关键词 激光 轴向偏焦法 平整化 CVD金刚石膜

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CVD金刚石磨损性能的研究 被引量：1

8

作者 高攀 吴超 +1 位作者 严垒 马志斌 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第1期15-17,共3页

提出了一种直接评价CVD金刚石磨损性能的实验方法,比较研究了热丝CVD法、微波等离子体CVD法和直流电弧等离子体CVD法制备的金刚石的磨损性能。研究结果表明:影响CVD金刚石磨损性能的主要因素是非金刚石相的相对含量,金刚石的内应力和晶... 提出了一种直接评价CVD金刚石磨损性能的实验方法,比较研究了热丝CVD法、微波等离子体CVD法和直流电弧等离子体CVD法制备的金刚石的磨损性能。研究结果表明:影响CVD金刚石磨损性能的主要因素是非金刚石相的相对含量,金刚石的内应力和晶粒大小对磨损性能的影响较小。 展开更多

关键词 CVD金刚石 评价方法 磨损性能 拉曼光谱

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圆筒电极对离子磁电加热的影响

9

作者 马志斌 沈武林 +2 位作者 吴俊 严垒 汪建华 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期245-250,共6页

高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振(ECR)等离子体的离子温度,还能改善离子的径向和轴向分布,促进ECR等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用.将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极,研究了圆筒电极对离子磁电加热的影响... 高效的磁电加热不仅能够提高电子回旋共振(ECR)等离子体的离子温度,还能改善离子的径向和轴向分布,促进ECR等离子体在化学气相沉积金刚石膜刻蚀中的应用.将磁电加热系统中的圆环电极改进为圆筒电极,研究了圆筒电极对离子磁电加热的影响,对比了圆筒和圆环电极加热离子的区别.结果表明:在同一阳极偏压下,圆筒比圆环电极更有利于提高离子温度,圆筒电极加热时各径向位置的离子温度升高的幅度较大,其中圆筒电极内部的离子温度径向分布差异较大,而圆筒下游的离子温度径向分布比较均匀;磁电加热对离子密度的影响很小;采用圆筒电极加热时,有利于离子向轴向下游的输运,改善了离子的轴向均匀性. 展开更多

关键词 ECR等离子体 磁电加热 离子温度

原文传递

基于神经网络的感应电机无速度传感器直接转矩控制系统的研究 被引量：3

10

作者 严文垒 王耀青 陆长胜 《电气传动》 北大核心 2006年第3期19-22,共4页

根据模型参考自适应和直接转矩控制理论,针对常规速度辨识器中的基准模型易受积分初值和漂移问题的影响,造成辨识结果不准确的问题,设计了一种新型的基准和可调模型。并且以此为基础,采用基于神经网络的模型参考自适应辨识电机转速。M A... 根据模型参考自适应和直接转矩控制理论,针对常规速度辨识器中的基准模型易受积分初值和漂移问题的影响,造成辨识结果不准确的问题,设计了一种新型的基准和可调模型。并且以此为基础,采用基于神经网络的模型参考自适应辨识电机转速。M ATLAB仿真结果表明,系统具有较好的性能。 展开更多

关键词 直接转矩控制 定子磁链 励磁电流 神经网络 无速度传感器

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新冠肺炎诊治定点医院危重症患者救治管理实践 被引量：14

11

作者 马楠 李盈 +7 位作者 孙彩英 关疏影 严佳垒 钱永平 陈海勇 魏国庆 裘云庆 梁廷波 《中华医院管理杂志》 CSCD 北大核心 2020年第4期294-297,共4页

2019年12月,武汉出现了新型冠状病毒肺炎病例,并在全国陆续发现。自疫情发生以来,作为浙江省重症危重症患者定点救治医院,浙江大学医学院附属第一医院快速响应,根据"集中患者、集中专家、集中资源、集中救治"的原则,在危重症... 2019年12月,武汉出现了新型冠状病毒肺炎病例,并在全国陆续发现。自疫情发生以来,作为浙江省重症危重症患者定点救治医院,浙江大学医学院附属第一医院快速响应,根据"集中患者、集中专家、集中资源、集中救治"的原则,在危重症患者救治过程中,坚持集中学科综合优势,通过全方位预案制定、全院资源优化调配、有效救治空间布局、综合医疗梯队组建、多学科精准施策等手段,确保救治工作的高效开展,并达到目前重症危重症患者治愈率98.7%,无患者死亡的救治成效。 展开更多

关键词 新型冠状病毒肺炎 集中救治 多学科协作机制 医疗管理

原文传递

电子称重式给煤机控制系统的应用和实现 被引量：7

12

作者 廖雪超 严文垒 《微计算机信息》 2009年第1期41-42,28,共3页

本文介绍了基于Siemens S7-300 PLC,富士FRNG11S变频器和给煤机控制器MT2105的电子称重式给煤机控制系统的控制思想和工作原理。给出了系统硬件结构和各组成部分的硬件设计,并详细分析了系统的5种控制方式,据此得出系统的软件设计和实... 本文介绍了基于Siemens S7-300 PLC,富士FRNG11S变频器和给煤机控制器MT2105的电子称重式给煤机控制系统的控制思想和工作原理。给出了系统硬件结构和各组成部分的硬件设计,并详细分析了系统的5种控制方式,据此得出系统的软件设计和实现方法。应用证明本给煤机控制系统能实现原煤输送的实时精确控制,具有很好的控制性和可靠性。 展开更多

关键词 PLC 变频器 给煤机控制器 工作方式

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公民活体器官捐献的认知情况调查及分析 被引量：8

13

作者 严佳垒 袁蕙芸 《中国医学伦理学》 2017年第6期787-791,共5页

目的研究公民对活体器官的认知情况和自愿捐献意愿,并针对影响公民活体器官捐献意愿的因素进行分析,为活体器官捐献事业的发展提出建议。方法本次调查采用自拟问卷进行匿名调查,以随机抽样的形式选取上海1500名普通公民作为被调查者。... 目的研究公民对活体器官的认知情况和自愿捐献意愿,并针对影响公民活体器官捐献意愿的因素进行分析,为活体器官捐献事业的发展提出建议。方法本次调查采用自拟问卷进行匿名调查,以随机抽样的形式选取上海1500名普通公民作为被调查者。结果公民对活体器官移植的知晓率不高;公民获取活体器官信息的主要来源是网络、电视、报纸等主流媒体;公民活体器官捐献意愿率为14.6%;公民捐献活体器官的意愿受多种因素影响。结论促进公民形成对活体器官捐献的正确认识需要通过政府、社会、家庭、医院及学校的多方努力。 展开更多

关键词 活体器官 器官捐献 自愿捐献

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基于多尺度线调频基稀疏信号分解的齿轮故障诊断 被引量：4

14

作者 彭富强 于德介 +1 位作者 罗洁思 严若垒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第14期1726-1730,共5页

在线调频小波路径追踪算法和稀疏信号分解的基础上,提出了一种基于多尺度线调频基的稀疏信号分解方法,并将其应用于齿轮故障振动信号的分解。该方法采用多尺度的线调频基元函数对信号进行投影分解,由于基函数库的多尺度特性,使得该方法... 在线调频小波路径追踪算法和稀疏信号分解的基础上,提出了一种基于多尺度线调频基的稀疏信号分解方法,并将其应用于齿轮故障振动信号的分解。该方法采用多尺度的线调频基元函数对信号进行投影分解,由于基函数库的多尺度特性,使得该方法非常适用于分解频率呈曲线变化的非平稳信号。当齿轮发生故障时,其振动信号通常为随转速波动的多分量调幅-调频信号,采用该方法能准确获得非平稳转速下齿轮啮合频率和调制频率随时间变化的情况,进而对其状态和故障特征进行识别,仿真算例和应用实例证明了该方法的有效性。 展开更多

关键词 多尺度 稀疏信号分解 线调频基元函数 故障诊断

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流速温度数据采集系统的设计与实现 被引量：3

15

作者 蔡彬 刘振兴 +2 位作者 严文垒 廖雪超 朱磊 《微计算机信息》 2009年第1期102-104,共3页

为实现对流速及温度进行实时检测,设计了一种具有组件控制、前置放大,解调和数据采集功能的流速温度数据采集系统。本文介绍了该方案的设计思路、原理,并给出了系统结构及实现的方法。实际应用证明该系统可以实时采集及精确的分离由探... 为实现对流速及温度进行实时检测,设计了一种具有组件控制、前置放大,解调和数据采集功能的流速温度数据采集系统。本文介绍了该方案的设计思路、原理,并给出了系统结构及实现的方法。实际应用证明该系统可以实时采集及精确的分离由探针针尖传递的温度和流速信号,采集速度可以达到10000帧/秒,并具有良好的抗干扰性,可以实现在极端条件下(高湿度、高温、高压、电网波动、强电磁场等)的正常工作。 展开更多

关键词 流速检测 温度检测 数据采集 实时

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新型冠状病毒肺炎疫情下数据采集与应用机制思考 被引量：3

16

作者 冯亚婷 钱永平 +5 位作者 陈海勇 马楠 严佳垒 谢中阳 干彩琴 魏国庆 《现代医院》 2021年第3期413-416,共4页

新型冠状病毒肺炎(COVID-19)疫情下,做好数据采集应用工作,直接关系地区疫情防控和医院患者救治成效,更是提升医院治理能力的重要一环。笔者总结了浙江大学医学院附属第一医院(以下简称“浙大一院”)数据采集与应用实践探索,结合此次疫... 新型冠状病毒肺炎(COVID-19)疫情下,做好数据采集应用工作,直接关系地区疫情防控和医院患者救治成效,更是提升医院治理能力的重要一环。笔者总结了浙江大学医学院附属第一医院(以下简称“浙大一院”)数据采集与应用实践探索,结合此次疫情特点,建立完善4个工作机制、科学制定信息报送流程、加快以数据信息为基础的研究成果推广应用,既有效保障了数据采集质量和信息报送及时、准确,又为统一调配疫情防控应急物资保障和总结新冠肺炎患者医疗救治经验提供支撑;此外,对重大紧急信息报送与应用也提出了一些思考,供同行借鉴和探讨。 展开更多

关键词 新型冠状病毒肺炎疫情 数据采集 数据应用 机制

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我国活体器官捐献的伦理问题研究 被引量：3

17

作者 严佳垒 袁蕙芸 《中国医学伦理学》 2017年第5期589-593,共5页

目的从社会、机构、家庭与个人等多个层面,系统、全面地阐述我国活体器官捐献出现与可能出现的伦理问题。方法以文献研究法、专家访谈为主要研究方法,辅以小组讨论、深度咨询等方法进行研究。结果我国活体器官捐献事业发展从社会层面上... 目的从社会、机构、家庭与个人等多个层面,系统、全面地阐述我国活体器官捐献出现与可能出现的伦理问题。方法以文献研究法、专家访谈为主要研究方法,辅以小组讨论、深度咨询等方法进行研究。结果我国活体器官捐献事业发展从社会层面上看,相关法律条例、公民教育宣传以及配套保障措施都存在着问题;从机构层面上看,医院人体器官移植伦理委员会在人员构成、审查能力以及监管方面也存在不足;个体层面上,活体器官捐献的供体、受体和相关医务人员也有各自的伦理困境。结论通过从社会、机构和个人三个层面解决活体器官捐献存在的伦理问题有利于全面推进活体器官捐献,充分实现活体器官移植造福人类的初衷。 展开更多

关键词 活体器官 器官捐献 器官移植 伦理问题

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基于PLC控制系统的故障分析与维护 被引量：1

18

作者 陆长胜 李波 严文垒 《武钢技术》 CAS 2007年第5期50-53,共4页

PLC控制系统在工业生产中有着广泛的应用,PLC控制系统的可靠性直接影响到工业生产的效率与安全。分析影响PLC控制系统故障的主要因素,提出提高系统稳定性的措施,对于提高PLC控制系统可靠性具有普遍意义和实践价值。

关键词 PLC控制系统 可靠性 维护

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磁粉成型液压机液压缸改造

19

作者 张安龙 梁伟 +2 位作者 严文垒 吴蕾 杨雯燕 《武钢技术》 CAS 2013年第1期56-58,共3页

结合磁粉成型液压机结构及磁粉成型生产工艺,分析磁粉成型液压机中2台液压缸的设计缺陷,采用改变2台液压缸的结构、位置及连接方式的措施,有效解决了填料不均、脱模时产品破裂等问题,减小了液压机机架的尺寸和制作成本,并降低了能耗。

关键词 磁粉 液压机 液压缸 改造

原文传递

FTTH家庭网络安装方法——上海“城市光网”技术创新和应用实践之六

20

作者 严森垒 徐橙 《电信科学》 北大核心 2012年第8期113-119,共7页

FTTH虽然为用户带来了高带宽,但是能否实现轻松便捷的网络体验、异彩纷呈的内容享受与搭建的家庭网络密切相关。对于通信运营商而言,家庭网络还关系到宽带业务的长远发展与延伸。本文通过对目前家庭布线普遍存在的状况以及用户对业务的... FTTH虽然为用户带来了高带宽,但是能否实现轻松便捷的网络体验、异彩纷呈的内容享受与搭建的家庭网络密切相关。对于通信运营商而言,家庭网络还关系到宽带业务的长远发展与延伸。本文通过对目前家庭布线普遍存在的状况以及用户对业务的需求进行综合分析,提出了一些FTTH家庭网络安装方面的思路,并对目前主要采用的终端设备、网络安装方法及辅助手段进行介绍和探讨。 展开更多

关键词 PON FTTH 家庭网络 线缆汇聚点 FTTH终端

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