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真空微电子学

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摘要用于半导体电子学的平板印刷法导致了真空管的复兴。本文对真空微电子学目前的进展,特别是对有关场致发射阴极的制作和电气特性作了评论。与热发射和半导体发射阴极相比,它在可靠性方面显示了最大的潜力。

作者陈善化

出处《真空电子技术》北大核心 1992年第5期40-46,共7页 Vacuum Electronics

关键词真空电子学微电子学

分类号 TN1 [电子电信—物理电子学]

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真空电子技术

1992年第5期

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