纳米半导体颗粒膜的研究现状被引量：1

Research Status of Nanometer Semiconductor Particle Thin Films

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摘要介绍了纳米半导体颗粒膜的制备方法及研究现状,提出了纳米半导体颗粒膜研究的问题和今后的发展方向。 In the paper, preparation methods and research status are summarized. Research topics and future directions in the field of nanometer semiconductor particle thin films are also presented.

作者栾彩霞柴跃生张敏刚

机构地区太原重型机械学院

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第F09期39-40,共2页 Materials Reports

关键词纳米半导体颗粒膜制备工艺粒度溶胶-凝胶法溅射法化学气相沉积 nanometer semiconductor particle thin films, preparation methods, research status

分类号 TN304.055 [电子电信—物理电子学] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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