期刊文献+

SiO_2气凝胶薄膜的性能、应用与制备方法 被引量:2

Silica Aerogel Thin Films: Properties, Applications And Preparation Methods
下载PDF
导出
摘要 SiO_2气凝胶薄膜是一种纳米轻质材料,具有高孔隙率、低密度、低热导率、低声传播速度、低介电常数、高比表面积、透明等优异性能,在热学、光学、声学、微电子、航空航天、化学化工等领域具有广阔的应用前景。介绍了SiO_2气凝胶薄膜的性能与应用,并对其制备方法进行了综述和评价。 SiO_2 aerogel thin film is a nano-porous lightweight material with many excellent properties such as high porosity,low density,low thermal conductivity,low sound speed,low dielectric constant and high specific surface area,and it is transparent. SiO_2 aerogel has versatile applications in various areas such as heat,optics,acoustics, microelectronics,aviation and aerospace,and chemical engineering. The properties and applications of SiO_2 aerogel thin film are described. Its preparation methods is also summarized and evaluated in this paper.
出处 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第1期32-35,共4页 Materials Reports
基金 十五国防预研项目(41312040307)
关键词 SiO2气凝胶薄膜 二氧化硅 纳米材料 孔隙率 热导率 介电常数 制备工艺 SiO_2 aerogel thin film property application preparation method
  • 相关文献

参考文献39

二级参考文献12

  • 1Chang K M,IEEE Electron Device Lett,1999年,20卷,4期,185页 被引量:1
  • 2Batchalder T,Solid State Technology,1999年,29页 被引量:1
  • 3Qin S,IEEE Electron Device Letters,1998年,19卷,11期,420页 被引量:1
  • 4Yang Tianhe,Thesis Master,2000年 被引量:1
  • 5Yang Heesun,Thin Solid Films,1999年,348卷,69页 被引量:1
  • 6Wu Guangming,功能材料,1999年,30卷,404页 被引量:1
  • 7Wu Guangming,原子能科学技术,1999年,33卷,332页 被引量:1
  • 8Jue Wang,Nanostruct Mater,1998年,10卷,909页 被引量:1
  • 9Hu Soutong,US Patent 5 5 82 85 9 被引量:1
  • 10Wu Guangming,High Temperature-High Pressures,2000年,32卷 被引量:1

共引文献48

同被引文献16

引证文献2

二级引证文献5

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部