摘要
电子诱导脱附是近年来在真空科学与表面科学领域内的热门研究课题。它不仅作为研究和探讨原子激发过程以及电子能量传输机制的有效手段,而且已经逐渐成为获取表面和界面结构、状态等信息的有效方法。“信号调制法”是利用脉冲电流能量调制的电子探束取代传统的直流电子探束,并通过测量电子诱导脱附产物引起的压强变化量,来研究电子诱导脱附的新方法。本文系统地介绍了该方法的基本原理,并从理论上对该方法带来的测量误差进行了分析。
Electron-stimulated desorption (ESD) technique was modified by substituting steady electron beams with a pulsed energy modulated electron current.Desorption can be studied by measuring the pressure variations caused by the impinging electron.The operating principle of the new technique as well as its error analysis were discussed.
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2003年第5期328-330,共3页
Vacuum Science and Technology
基金
南京大学博士后研究经费资助
关键词
电子诱导脱附
“信号调制法”
误差分析
Electron-stimulated desorption,Modulation method,Error analysis
