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干涉原理与干涉仪标准的思考被引量：1

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摘要在国家平晶计量标准的测量方法由等倾向等厚变化的时候,对于现代数字化等厚干涉仪无国家标准的状况也将有所改变。本文从等厚干涉仪的测试原理、仪器特点、测试对象等方面进行讨论,对于干涉仪标准的制定提出了一些看法。

作者王青

机构地区南京理工大学电子工程与光电技术学院

出处《江苏现代计量》 2008年第5期35-37,共3页 Jiangsu Present Day Metrology

关键词干涉仪标准

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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江苏现代计量

2008年第5期

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