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平面等厚干涉仪校准方法探讨被引量：1

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摘要本文作者提出了JJF 1100-2003平面等厚干涉仪校准规范中仪器示值误差计算公式存在的问题,并就其结构分类、校准方法和环境条件等作了进一步探讨。

作者何超琼

机构地区上海市计量测试技术研究院

出处《计量技术》 2008年第2期56-58,共3页 Measurement Technique

关键词平面等厚干涉仪标准平面平晶互检法环境条件测量不确定度

分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程]

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计量技术

2008年第2期

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