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单晶硅微压传感器的研制

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摘要风洞测压及实现自动检测、自动控制,急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高,适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标,着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。

机构地区六二五所三室传感器组

出处《航空学报》 EI CAS 1979年第4期104-112,共9页 Acta Aeronautica et Astronautica Sinica

关键词微压传感器风洞硅膜片硅环压力传感器压阻系数压阻效应

分类号 TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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