摘要
一、绪言在半导体元件制造过程中,使用以硅烷为主的各种原料气,其中,大多数是毒性大、易燃、易爆的气体,处理时必须考虑安全性。日本高压气体保安协会为防止以往不经常使用的危险性大的高压气体发生事故,规定了特气防灾标准。1984年11月,在日本神奈川县发生锗烷高压容器破裂事故,进口的锗烷容器在卸车时突然发生破裂。从以后的调查中得知,破裂的原因是锗烷分解产生爆炸所引起的。以前。
出处
《低温与特气》
CAS
1992年第3期60-67,共8页
Low Temperature and Specialty Gases
