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半导体工艺中使用的特种气体被引量：1

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摘要日本的半导体工业，以优异的半导体生产技术和其创造能力，在世界上取得了惊人的发展。

作者原田光康显澄刘振烈韩美

机构地区不详峨嵋半导体材料厂光明所

出处《低温与特气》 CAS 1984年第2期1-18,共18页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词半导体工艺特种气体半导体生产技术半导体工业创造能力人的发展

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学] TQ117 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1984年第2期

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