摘要
为解决激光干涉测在米级的大位移和距离方面的不足,提出用两组阵列角锥棱镜组对光路进行折叠,并使两镜组产生相对往复移动,使参考光束光程变化达到测量光束光程的变化,从而能实现长距离测量,同时对系统的测量范围和测量精度进行分析,其测量范围取决于两镜组角锥棱镜的数量和相对位移,在宽带光源波长为0.1~0.4nm的系统进行模拟分析,系统测量精度取决于工作波长中较短的部分,对应一般的探测器,精度可达0.01mm。系统结构简单,为双光束干涉测量位移装置在小型化方面提供一种可行的解决方案。
出处
《轻工科技》
2016年第11期49-50,59,共3页
Light Industry Science and Technology
基金
广西科技大学鹿山学院科学基金项目(2013LSZK09)
