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高精度电涡流测微系统的研究 被引量:15

Research on High Precision Measuring System with Eddy Current
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摘要 在介绍电涡流传感器工作原理及系统构成的基础上,提出了一种基于矩形域最小二乘曲面拟合算法进行温度补偿的方法,利用DSP进行数据的采集和处理,通过建立温度间距频率之间的数学模型,实现了电涡流测微系统在高精度微位移测量领域中的应用。实例表明所建模型是合理的,该方法是行之有效的。 By introducing the principle of the eddy current sensor and the structure of the measuring system,a temperature compensation method which uses surface fitting algorithm based on the rectangle field least squares is proposed. The high precision measurement is realized by establishing a temperature-distance frequency model and using DSP for data acquisition and processing in the system. Examples show that the model established is reasonable and the method is feasible.
作者 顾金凤 唐炜
出处 《江苏科技大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2006年第1期73-77,共5页 Journal of Jiangsu University of Science and Technology:Natural Science Edition
关键词 电涡流传感器 温度补偿 曲面拟合 最小二乘法 eddy current sensor temperature compensation surface fitting least squares
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献8

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共引文献60

同被引文献93

引证文献15

二级引证文献55

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