摘要
电致变色材料在外部施加电压的作用下可实现光学特性的可逆性转换,基于此原理设计的电致变色器件因其优异的低功耗特性得到了广泛应用。在电致变色器件的制备工艺中磁控溅射技术因其工艺成熟,操作简单,镀膜质量好等优势成为研究者们制备电致变色器件的首选。文章简述了磁控溅射技术的原理与分类、电致变色器件的结构与原理,总结了近年来磁控溅射技术在电致变色器件制备过程中的应用。
出处
《光源与照明》
2024年第1期56-58,共3页
Lamps & Lighting
基金
吉林省科技发展计划项目(20220201068GX)。
