高性能真空静电封接机的设计与实现

Design and implementation of high-performance vacuum electrostatic sealing machine

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摘要以DPFJ-Ⅳ型静电封接机为基础,通过对真空技术、加热技术、自动化技术以及封接工艺的不断探索,研制出一款高性能真空静电封接机。主要介绍了该高性能真空静电封接机的设计原理、主要技术性能以及结构特点。结果发现,该设备具备真空度更高、温度调节范围更宽、加热更均匀等特点,同时可实现硅片自动封接。测试发现,该设备可以提高生产效率和生产质量。

作者王鹏叶挺董帅蒋伯华徐海宁

机构地区沈阳仪表科学研究院有限公司

出处《电子产品世界》 2023年第10期18-20,共3页 Electronic Engineering & Product World

关键词静电封接技术高性能自动封接

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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