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超声波检测在半导体工艺中的应用
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摘要
超声波检测作为一种常用的无损检测技术,不仅广泛应用于半导体加工工艺环节,而且在管道无损检测领域发挥着重要的核心作用。文章研究和讨论了超声波检测在半导体工艺中的应用问题,希望能够帮助相关工艺技术人员理解超声波检测技术的应用原理和要点,帮助技术人员有效地解决目前半导体工艺在优化过程中的成本控制问题,全面提升半导体工艺检测的整体效率。
作者
袁建强
郑磊
机构地区
济南市半导体元件实验所
出处
《电脑迷》
2023年第1期10-12,共3页
关键词
超声波检测
半导体工艺
生产效率
分类号
F42 [经济管理—产业经济]
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