摘要
气囊抛光技术是一种适用于大口径自由曲面光学元件精密加工且极具潜力的加工方法。在高效抛光阶段,气囊抛光具有充气压力大、压缩量大、转速高等特点,导致去除函数由理想的类高斯变为M形。针对高效气囊抛光中M形去除函数的产生原因,材料去除效率的影响因素和中频误差控制等角度展开实验研究。研究结果表明,M形去除函数产生主要受气囊压缩量影响,最高材料去除效率可达33.0269mm~3/min,同时也验证了M形去除函数在高效气囊抛光中的适用性。
出处
《制造业自动化》
CSCD
北大核心
2022年第8期70-73,共4页
Manufacturing Automation
基金
福建省自然科学基金(2019J01327)
集美大学国家基金计划(ZP2020048)。