“真空测量仪器”专刊序言

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摘要真空测量技术是真空科学与技术的重要学科组成,真空测量仪器是以真空物理为基础,伴随着材料、机械、电子、信息等领域的快速发展,不断迭代创新的技术方向,在航空航天、半导体、核工业、表面工程等领域发挥着重要作用。适逢《真空与低温》创刊40周年,我们聚焦真空全压力和真空分压力精确测量技术与仪器,推出“真空测量仪器”专刊,以表祝贺。

作者佘峻聪张虎忠

机构地区中山大学电子与信息工程学院兰州空间技术物理研究所

出处《真空与低温》 2022年第4期I0009-I0010,共2页 Vacuum and Cryogenics

关键词真空测量仪器航空航天表面工程迭代创新半导体科学与技术核工业专刊

分类号 F42 [经济管理—产业经济]

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