2020年中国光伏技术发展报告——晶体硅太阳电池研究进展(4) 被引量：3

Report on 2020 China PV technology development——research progress of crystalline silicon solar cells(part 4)

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摘要目前TOPCon电池的一大任务就是如何简化制备工艺,以便最大限度地降低成本。图24给出了TOPCon电池的3种不同的工业化工艺流程,这3种工艺分别为LPCVD制备多晶硅膜结合传统的全扩散工艺、LPCVD制备多晶硅膜结合扩硼及离子注入磷工艺,以及PECVD制备多晶硅膜并原位掺杂工艺。

作者中国可再生能源学会光伏专业委员会 China Photovoltaic Society

机构地区中国可再生能源学会

出处《太阳能》 2021年第1期5-10,共6页 Solar Energy

关键词多晶硅膜离子注入 LPCVD 原位掺杂扩散工艺晶体硅太阳电池光伏技术 TOP

同被引文献25

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太阳能

2021年第1期

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