摘要
该文主要介绍了LED用蓝宝石图形化衬底的基础知识。图形化衬底可分为湿法蚀刻(WPSS)和干法蚀刻(DPSS)两种,其基本的制作原理。两种图形化衬底的主要特性参数探讨,以及量测和评价方法。
This paper mainly discuss the LED with the basic knowledge of PSS.PSS Can be divided into wetetching(WPSS)and dry etching(DPSS),its basic principle.The main characteristic parameters of substrate isintroduced,and how to measure and evaluation method.
作者
斯芳虎
Si Fang-hu(Fujian Sanan Electronics Co.,Ltd,Fujian Quanzhou 362400)
出处
《电子质量》
2017年第2期37-40,共4页
Electronics Quality
关键词
LED发光二极管
外延层
衬底
曝光
干法蚀刻
湿法蚀刻
显影
ED(Light Emitting Diode)
Epitaxial-layer
Sapphire
Exposure
Dry-etching
Wet-etching
Development
