摘要
本文综述了四氯化硅在制备三氯氢硅、氮化硅陶瓷、白炭黑、多晶硅与多晶硅薄膜以及有机硅材料中的应用及进展。
This paper reviews the application status of silicon tetrachloride in the preparation of trichlorosilane, silicon nitride ceramics, silica, polycrystalline silicon,polycrystalline silicon thin flms and silicones.
出处
《当代化工研究》
2017年第10期118-121,共4页
Modern Chemical Research
关键词
四氯化硅
氮化硅
白炭黑
多晶硅
有机硅
Silicon tetrachloride
Silicon nitride
Silica
Polycrystalline silicon
Silicone
