摘要
本文主要研究一种基于硼扩散的多晶硅太阳能电池背钝化工艺,该工艺可有效的提高多晶电池Uoc可达10 mV。采用硼扩散后形成的硼掺杂层(BSG)作为多晶电池背面钝化工艺。在工艺上采用和磷扩散工艺类似的工艺步骤,通过优化沉积时间,推进氧化过程中的O2,N2流量等,达到最佳的Uoc提升效果,经过优化后的背面钝化工艺可以有效提高多晶电池的转换效率0.5%,从而实现了在多晶电池提高电池效率的目的。
出处
《山西能源学院学报》
2017年第3期220-222,共3页
Journal of Shanxi Institute of Energy
基金
山西省国际科技合作项目"采用硼扩散实验多晶背钝化高效工业化太阳能技术"(项目编号:2015081056)阶段性成果
山西省重点研发计划重点项目"高性能柔性炭电极材料研究"(项目编号:201603D 112007)最终成果