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摘要 0300578改用离子注入替代外延生产话筒管[刊]/张鸿升//微电子技术.—2002,30(4).—62～64(E)结型场效应晶体管,长期来几乎都是采用外延扩散法工艺。随着微电子技术发展,半导体生产的离子注入设备及工艺相继推出,离子注入工艺越来越成熟。本文介绍了应用离子注入替代外延扩散制造话筒管的工艺概况。

出处《电子科技文摘》 2003年第1期39-39,共1页 Sci.& Tech.Abstract

关键词场效应晶体管信息理论离子注入半导体生产电子设备扩散法光电设备半导体光电电声技术

分类号 TN32 [电子电信—物理电子学]

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