电子工艺

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摘要 Y2002-63033 02081712000年 IEEE 国际半导体会议录.卷2=2000 IEEEinternational semiconductor conference,Vol.2[会,英]/IEEE Electron Devices Society.—2000.—166P.(E)本会议录共分2卷.本书为第2卷,收集了在会上发表的38篇论文,内容涉及传感器、微米与纳米技术,

出处《电子科技文摘》 2002年第5期27-28,共2页 Sci.& Tech.Abstract

关键词电子工艺纳米技术会议录 Electron 厚膜薄膜结构溶胶一凝胶离子注入技术绝缘体上硅玻璃基片

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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