晶圆厂炉管设备TEOS极限生产速率提升研究

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摘要该文以晶圆代工领导者台积电的炉管设备TEOS为例,通过标杆管理,以及时间研究、动作分析等IE手法把极限生产率的影响因素能被系统实时侦测反馈,从而让各因素变得极为显而易见,最后针对每个关键因素做突破极限的提升。

作者王晓斌

机构地区上海交通大学机械与动力工程学院

出处《科技资讯》 2015年第12期115-115,共1页 Science & Technology Information

关键词极限生产速率标杆管理 IE手法实时侦测反馈

参考文献2

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2015年第12期

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