离子溅射镀膜机工件架系统设计研究

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摘要随着我国制造行业的快速发展,离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中,因此,离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手,对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。

作者吕子啸

机构地区太原理工大学山西太重兴业投资发展有限公司

出处《科技风》 2014年第20期54-54,共1页

关键词镀膜机离子溅射镀膜机工件架系统设计

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