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Gage R&R分析法在IGBT检测中的应用 被引量:1

Gage R&R Analysis Application in IGBT Testing
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摘要 准确测量是生产高质量IGBT的重要保证。本文介绍了IGBT检测误差产生的各种原因及其对测量数据统计特性的影响,重点讨论了量具的重复性和再现性。在Gage R&R分析的基础上,给出了Gage R&R分析在IGBT检测过程中的应用,并将Gage R&R分析成功的应用到半导体检测领域。
出处 《计量与测试技术》 2014年第9期47-48,52,共3页 Metrology & Measurement Technique
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参考文献6

二级参考文献9

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共引文献30

同被引文献5

引证文献1

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