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硅基陶瓷材料高温氧化理论的回顾 被引量:11

Review of the Research on the Oxidation Theory of Silicon-based Materials at Ultrahigh Temperature
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摘要 本文综述了硅基陶瓷材料高温氧化理论 ,在热动力学和整体控速过程两方面具体介绍了在高温条件下Si、SiC、Si3N4 This paper reviewed the oxidation theory of silicon based materials at ultrahigh temperature, included the material properties of Si, SiC, Si\-3N\-4 at high temperature.
出处 《材料科学与工程》 CSCD 北大核心 2002年第2期268-272,共5页 Materials Science and Engineering
关键词 硅基陶瓷材料 高温氧化 碳化硅 氮化硅 氧化性质 oxidation theory silicon based materials Si SiC Si\-3N\-4
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