摘要
本文作为“高纯、高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准,终端过滤器的真正功效,严谨的施工保障措施,以及验收的检测方法等细节问题,为设计、施工人员提供一个良好的借鉴。
Requirments of the design, installation, test and acceptance for ultra-pure gases distribution system, real effect of terminal filter and strict measures for piping installaion,test and acceptance are described.
出处
《洁净与空调技术》
2002年第2期44-47,37,共5页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
气体输配管道
施工验收
管道洁净度
Cleanliness of piping Installation measures Terminal filter Test and acceptance
