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瓶装高纯气体粒子污染的测定与控制被引量：3

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摘要前言由于半导体工业的持续发展,已生产出了更密集和更复杂的电路。因此,在工厂生产工艺中,所用材料的洁净度和纯度就变得更为关键了。集成电路生产时,粒子的污染已被认为是唯一最大产品损失率的来源。粒子可以引起电路的断路或短路,改变半导体的电性能,造成晶格结构的损坏。

作者 T.K.Hardy D.D.Christman R.H.Shay 张洪雁

机构地区航空航天部第七设计研究院

出处《低温与特气》 CAS 1989年第4期14-21,共8页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词粒子污染高纯气体测定控制

分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]

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低温与特气

1989年第4期

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