实现纳米结构的新途径──STM制版技术被引量：2

导出

摘要实现纳米结构和器件，对于开发基于量子效应的新器件和提高现有电子器件的性能，具有重要的意义．扫描隧道电子显微镜（ｓｃａｎｎｉｎｇｔｕｎｎｅｌｉｎｇｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ＳＴＭ）具有原子尺度的分辨率，用以进行表面加工，可能发展成一种实现纳米结构和器件的新技术．本文简单介绍用ＳＴＭ进行纳米级制版的原理、方法以及在实验室中已实现的水平和前景．

作者董树忠

机构地区复旦大学物理系

出处《物理》 CAS 北大核心 1991年第11期647-649,共3页 Physics

关键词纳米结构 STM 制版电子器件 VLSI

分类号 TN470.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]

引文网络
相关文献

参考文献1

1Yi Y Z，Appl Phys Lett，1989年，54卷，1424页被引量：1

同被引文献107

1田一光,庞文琴.沸石分子筛半导体化合物簇复合材料[J].功能材料,1993,24(3):193-200. 被引量：4
2王大志.纳米材料结构特征[J].功能材料,1993,24(4):303-305. 被引量：31
3刘宇,邓永茜.新型纳米晶材料[J].硅酸盐通报,1993,12(4):47-52. 被引量：7
4徐跃萍,郭景坤,马利泰,阮美玲.Y-TZP纳米级粉料烧结初期动力学模型的探讨[J].硅酸盐学报,1993,21(1):29-32. 被引量：7
5丁星兆,罗莉,程黎放,马学呜,董远达.纳米TiO_2的结构相变和锐钛矿晶粒长大动力学[J].无机材料学报,1993,8(1):114-118. 被引量：27
6魏雄,李道火.纳米氮化硅结构研究[J].无机材料学报,1993,8(2):253-256. 被引量：3
7潘峰,范毓殿,柳百新.纳米磁性多层膜研究进展[J].物理,1993,22(9):526-530. 被引量：9
8王前,孙强.超微粒的分形聚集特性[J].物理,1993,22(5):314-316. 被引量：3
9彭郁卿.纳米材料结构研究与正电子寿命谱学[J].物理,1993,22(11):668-672. 被引量：3
10王广厚.纳米固体的界面效应和结构重排[J].物理,1993,22(12):720-724. 被引量：1

引证文献2

1翟庆洲,裘式纶,肖丰收,张宗涛,邵长路.纳米材料研究进展Ⅰ——纳米材料结构与化学性质[J].化学研究与应用,1998,10(3):226-235. 被引量：60
2吴水清.表面镀金学的理论研究[J].表面技术,1998,27(5):1-5. 被引量：1

二级引证文献61

1李华刚.表面活性剂(DBSAS)保护下纳米CuO的制备和表征[J].遵义师范高等专科学校学报,2001,3(2):35-36.
2陈庆龄.纳米催化技术的应用进展[J].现代化工,2004,24(7):20-23. 被引量：10
3丁健华,李加新,洪茵.纳米氧化铝预富集火焰原子吸收光谱法测定天然水中铬(Ⅵ))[J].佛山科学技术学院学报（自然科学版）,2004,22(3):51-54. 被引量：2
4徐锁平.纳米氧化物在涂料中的应用研究进展[J].淮北煤炭师范学院学报（自然科学版）,2004,25(3):40-44. 被引量：1
5楚广,唐永建,刘伟,罗江山,黎军,杨天足.纳米铜粉的制备及其应用[J].金属功能材料,2005,12(3):18-21. 被引量：33
6李昕.警惕“洋文凭”——学历打假不容忽视的角落[J].兰台世界（上旬）,2005(7):56-57.
7薛永强,杜建平,朱利伟,王志忠.反应物粒度对化学反应平衡常数的影响[J].太原理工大学学报,2005,36(5):609-611. 被引量：2
8薛永强,赵红,杜建平,王志忠.纳米粒子的粒度对化学反应的影响[J].山西化工,2006,26(2):53-57.
9黄保贵.纳米化学的发展[J].文山师范高等专科学校学报,2004,17(3):258-261. 被引量：1
10姜奉华.沉淀法制备纳米级Fe_2O_3和NiO粉体的正交试验研究[J].兵器材料科学与工程,2006,29(5):31-33.

1眭冠良.印制电路丝网制版技术(续)[J].电子工艺技术,1991(2):31-36.
2施恒尧.一种大面积小短路点的制版技术[J].电力电子技术,1991(1):37-38.
3董德基.制作极大规模集成电路的关键：改进光刻制版技术[J].日本的科学与技术,1990(3):40-46.
4三年之痒我的“紫色梦”[J].视听前线,2010(10):47-49.
5丁一.网络印刷技术在电子产业领域的动向[J].丝网印刷,2003(6):1-6.
6张公.自己动手,制作精细印刷电路板[J].电子世界,2005(11):37-37. 被引量：1
7冯军 ,张军 ,李连鸣 ,张国宝 ,黄颋 ,王志功 ,江山 .2．5Gb／s混合集成光发射OEIC[J].高技术通讯,2005,15(2):43-46. 被引量：2
8志存高远勇攀高峰——半导体与信息科学专家王守觉院士[J].科技成果管理与研究,2012(3).
9金友.二极管激光器在印刷业中的应用[J].光机电信息,2005,22(5):4-7.
10孙梅.印制电路板快速制作系统研制[J].中国机械,2014,0(18):188-189.

物理

1991年第11期

浏览历史

内容加载中请稍等...

实现纳米结构的新途径──STM制版技术被引量：2

参考文献1

同被引文献107

引证文献2

二级引证文献61

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

实现纳米结构的新途径──STM制版技术 被引量：2

参考文献1

同被引文献107

引证文献2

二级引证文献61

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史

实现纳米结构的新途径──STM制版技术被引量：2