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六自由度并联柔性铰链微动平台的研究 被引量:4

Research on 6-Do F Parallel Micro-positioning Stage Based on Flexible Hinge
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摘要 为获得具有运动解耦性的并联2-2-2结构的6自由度微动平台,首先以并联6-PUS 3维平台为原型,用柔性铰链替代球铰,用柔性框架替代直线移动副,设计了并联2-2-2结构的6自由度微操作平台。其次,建立了该微操作平台的位置正反解方程;然后,建立了柔性铰链的刚度模型,以各种强度条件为约束,并利用有限元分析校核了其中的柔性铰链。上述分析证明了该机构的可行性及运动解耦性。 In order to obtain a six-degree of freedom micro-positioning stage of parallel structure with motiondecoupling,firstly,a 6-Do F micro-positioning stage with parallel 2-2-2 structure is designed by replacing the ball hinge with a flexible hinge instead of a straight-line moving pair with a flexible frame instead of a parallel on the basis of 6-PUS 3-Do F micro-positioning stage structure.Secondly,the position positive and negative solution equation of the micro-positioning stage is established. And then the stiffness model of the flexible hinge is established,and the flexible hinges are checked by finite element analysis based on various strength conditions.The above analysis proves the feasibility of the institution and the motion decoupling.
作者 桂和利 周睿 GUI Heli;ZHOU Rui(Wuxi Institute of Technology,Wuxi Jiangsu 214151,China;School of Mechanical Engineering,Jiangnan University,Wuxi Jiangsu 214122,China)
出处 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2018年第6期30-35,共6页 Machine Design And Research
基金 无锡科技职业学院基金资助项目(RJ18018)
关键词 微动平台 结构设计 刚度模型 有限元分析 运动解耦 micro-positioning stage structure design stiffness model finite element analysis motion decoupling
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