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增强混成式焦平面器件互连芯片可靠性的几点措施 被引量:2

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摘要 主要讨论了互连及后继工序对互连芯片的要求,以及提高五连芯片可靠性的几点措施,如重熔原理与方法、互连参数选择、聚胺树脂填充等。文中所采用的红外器件为InSb面阵芯片,CMOS读出电路制作在Si材料上。
出处 《航空兵器》 2001年第3期13-14,共2页 Aero Weaponry
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