用扫描电子显微镜透视半导体和集成电路
Clairvoyance of semiconductors and IC by the scanning electron microscope
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期404-405,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家科学技术部资助项目
国家自然科学基金委资助项目
参考文献1
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