摘要
该文叙述了利用扫描力显微镜测量表面静电势的工作原理,并给出了不同类型扫描静电势显微镜的框图,以及利用它得到的一些实验结果。
The operating principle of using scaning force microscopy(SFM) to measure surface electrostatic potential is described in this article, and the block diagrams of different mode and a few experimental results are given simultanously.
出处
《电子与信息学报》
EI
CSCD
北大核心
2001年第5期485-490,共6页
Journal of Electronics & Information Technology
基金
国家自然科学基金(6989021)
关键词
表面静电势
扫描力显微镜
工作原理
绝缘平面测量
Surface electrostatic potential, Scanning force microscopy, Scanning electrostatic potential microscopy
