摘要
设计了刚度高、热适应强的反射镜柔性支撑结构。通过有限元模型分析,该支撑结构中的反射镜在±10℃的环境温度变化下,其反射镜面形精度RMS值达到1/50λ(λ=632.8nm)。
A flexible supporting structure for the fast steering mirror is with high rigidity and heat-resistant stability .T he surface shape accuracy RM S value reaches 1/50 λ （λ =632 .8 nm ） w hen the temperature is within ± 10 ℃ .
出处
《长春工业大学学报》
CAS
2014年第1期30-35,共6页
Journal of Changchun University of Technology
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(863251139)
关键词
反射镜
柔性支撑
成像质量
mirror
flexible support
imaging quality
