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工艺冷却水系统研究与应用
被引量：
2
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摘要
工艺冷却水系统常用于半导体、微电子等行业中关键设备的间接冷却。工艺冷却水系统分为开式系统和闭式系统,对工艺冷却水系统组成、工作原理、系统特点及系统模式选择等内容进行了研究。
作者
冯异
机构地区
西安中为光电科技有限公司
出处
《科技与企业》
2014年第6期244-244,246,共2页
Science-Technology Enterprise
关键词
工艺冷却水
开式系统
闭式系统
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
引文网络
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科技与企业
2014年 第6期
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