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多晶硅生产中SiH_2Cl_2的富集及处理方法 被引量:5

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摘要 多晶硅是生产太阳能电池及电子元件的基础性功能材料,是光伏产业和电子工业的基石。随着光伏产业的快速发展,我国的多晶硅产能也在迅速增长。改良西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、最主流的工艺方法,具有技术成熟、适合大规模工业化生产等特点,使用改良西门子法所生产的多晶硅占当今世界多晶硅生产总量的80%左右。
出处 《新材料产业》 2013年第12期44-47,共4页 Advanced Materials Industry
  • 相关文献

参考文献3

  • 1王恒孝,胡小冬,黎展荣,唐猷成.合成氯硅烷精馏工艺改造[J].现代化工,2011,31(8):71-73. 被引量:8
  • 2Speight J G;陈晓春;孙巍.化学工程师实用数据手册[M]{H}北京:化学工业出版社,2006. 被引量:1
  • 3Li K Y,Huang C D. Redistribution Reaction of Trichlorosilane in a Fixed-Bed Reactor[J].{H}Industrial and Engineering Chemistry Research,1988.1600-1606. 被引量:1

二级参考文献8

共引文献7

同被引文献30

引证文献5

二级引证文献7

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