期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
多晶硅生产中SiH_2Cl_2的富集及处理方法
被引量:
5
下载PDF
职称材料
导出
摘要
多晶硅是生产太阳能电池及电子元件的基础性功能材料,是光伏产业和电子工业的基石。随着光伏产业的快速发展,我国的多晶硅产能也在迅速增长。改良西门子法是目前生产多晶硅最为成熟、最主流的工艺方法,具有技术成熟、适合大规模工业化生产等特点,使用改良西门子法所生产的多晶硅占当今世界多晶硅生产总量的80%左右。
作者
胡小冬
刘小锋
张东
贾曦
王丽
机构地区
乐山职业技术学院
湖北骆驼蓄电池研究院有限公司
出处
《新材料产业》
2013年第12期44-47,共4页
Advanced Materials Industry
关键词
工业化生产
SiH2Cl2
多晶硅
富集
光伏产业
西门子法
技术成熟
太阳能电池
分类号
TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
8
参考文献
3
共引文献
7
同被引文献
30
引证文献
5
二级引证文献
7
参考文献
3
1
王恒孝,胡小冬,黎展荣,唐猷成.
合成氯硅烷精馏工艺改造[J]
.现代化工,2011,31(8):71-73.
被引量:8
2
Speight J G;陈晓春;孙巍.化学工程师实用数据手册[M]{H}北京:化学工业出版社,2006.
被引量:1
3
Li K Y,Huang C D. Redistribution Reaction of Trichlorosilane in a Fixed-Bed Reactor[J].{H}Industrial and Engineering Chemistry Research,1988.1600-1606.
被引量:1
二级参考文献
8
1
孙学政,刘奋宙.
三氯氢硅生产技术及市场[J]
.中国氯碱,2008(8):15-17.
被引量:17
2
卜新平.
国内外多晶硅行业现状与发展趋势[J]
.化学工业,2008,26(7):32-41.
被引量:15
3
何丽雯.
太阳能多晶硅的制备生产工艺综述[J]
.化学工程与装备,2010(2):117-120.
被引量:25
4
周齐领,张晓辉.
电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[J]
.化工设计,2010,20(3):11-13.
被引量:17
5
宗文婷,柯曾鹏.
氯硅烷加压多效精馏及过程模拟[J]
.化工设计,2010,20(4):8-11.
被引量:7
6
四季春,梁利锴.
多晶硅生产的节能降耗[J]
.现代化工,2010,30(9):5-7.
被引量:13
7
梁骏吾.
兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考[J]
.中国工程科学,2000,2(6):33-35.
被引量:19
8
梁骏吾.
电子级多晶硅的生产工艺[J]
.中国工程科学,2000,2(12):34-39.
被引量:165
共引文献
7
1
张爱霞,苗刚,周勤,陈莉.
2011年国内有机硅进展[J]
.有机硅材料,2012,26(3):177-201.
被引量:4
2
刘秀琼,汪治林,邓丰.
多晶硅生产过程的质量控制[J]
.广东化工,2013,40(7):87-88.
被引量:9
3
邱根萍,刘叶凤,李延芬.
氯硅烷精馏节能工艺进展[J]
.广东化工,2014,41(2):72-73.
被引量:2
4
陈惜明.
有机氯硅烷脱高塔的优化设计及工况分析[J]
.广东化工,2014,41(22):128-129.
被引量:2
5
胡小冬,贾曦,张东,黎展荣,蒲晓东.
多晶硅生产SiHCl_3精馏工艺改造[J]
.现代化工,2016,36(8):174-177.
被引量:1
6
胡小冬,王丽,张东,贾曦,王恒孝.
多晶硅生产中废气处理工艺改造[J]
.现代化工,2016,36(12):121-123.
被引量:1
7
任小红.
多晶硅生产过程的质量控制[J]
.化工管理,2018(20):249-249.
被引量:3
同被引文献
30
1
孙福楠.
高纯二氯二氢硅的生产和应用[J]
.化工新型材料,1996,24(11):27-28.
被引量:3
2
梁国仑.
特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅[J]
.低温与特气,1997,15(1):61-65.
被引量:1
3
吕咏梅.
四氯化硅工业应用研究进展[J]
.江苏氯碱,2007(4):17-25.
被引量:6
4
卜新平.
国内外多晶硅行业现状与发展趋势[J]
.化学工业,2008,26(7):32-41.
被引量:15
5
王跃林.
多晶硅副产物四氯化硅的综合利用技术[J]
.精细与专用化学品,2009,17(2):22-24.
被引量:26
6
陈涵斌,李育亮,印永祥.
四氯化硅转化技术的现状与发展趋势[J]
.氯碱工业,2009,45(4):27-31.
被引量:61
7
丁国江.
三氯氢硅和四氯化硅混合比对多晶硅生产的影响[J]
.四川有色金属,1998(3):14-15.
被引量:5
8
何丽雯.
太阳能多晶硅的制备生产工艺综述[J]
.化学工程与装备,2010(2):117-120.
被引量:25
9
周齐领,张晓辉.
电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化[J]
.化工设计,2010,20(3):11-13.
被引量:17
10
宗文婷,柯曾鹏.
氯硅烷加压多效精馏及过程模拟[J]
.化工设计,2010,20(4):8-11.
被引量:7
引证文献
5
1
胡小冬,贾曦,张东,黎展荣,蒲晓东.
多晶硅生产SiHCl_3精馏工艺改造[J]
.现代化工,2016,36(8):174-177.
被引量:1
2
胡小冬,王丽,张东,贾曦,王恒孝.
多晶硅生产中废气处理工艺改造[J]
.现代化工,2016,36(12):121-123.
被引量:1
3
贾曦,梅艳,邓茹.
多晶硅还原炉进气中添加SiCl_4、SiH_2Cl_2工艺进展[J]
.云南化工,2018,45(6):57-59.
4
宋张佐.
多晶硅无定型硅粉形成原因及控制[J]
.云南化工,2019,46(1):12-14.
被引量:3
5
李有斌,俞朝,陈叮琳,张才刚.
电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究[J]
.化工设计通讯,2021,47(1):38-39.
被引量:2
二级引证文献
7
1
陈叮琳,张才刚,李有斌,俞朝.
电子级多晶硅生产尾气中无定型硅的产生原因及预防措施[J]
.化工管理,2020(34):78-79.
被引量:2
2
李有斌,俞朝,陈叮琳,张才刚.
电子级多晶硅生产还原尾气中无定型硅去除工艺研究[J]
.化工设计通讯,2021,47(1):38-39.
被引量:2
3
王腾辉,陈果,杨学林.
非晶态纳米硅粉制备方法综述[J]
.储能科学与技术,2021,10(2):440-447.
被引量:2
4
武旭飞,韩林冲.
多晶硅还原工艺的流程模拟与优化研究[J]
.内蒙古煤炭经济,2021(19):38-39.
被引量:1
5
李帅东.
多晶硅还原生产常见问题及控制对策分析[J]
.山西化工,2022,42(5):68-70.
被引量:2
6
贺俊梅,张红伟.
硅烷废气焚烧处理系统与资源化利用[J]
.资源节约与环保,2022,37(9):84-87.
被引量:4
7
刘建海.
多晶硅生产中精馏工艺优化研究[J]
.中国高新科技,2024(2):117-119.
1
冶金法多晶硅谋突围[J]
.电气应用,2010,29(24):53-53.
2
廖勇明,董立军,韩敬东,陈大鹏,叶甜春.
用SiH_2Cl_2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究[J]
.电子工业专用设备,2005,34(1):28-30.
被引量:1
3
王向武,赵仲庸.
用SiH2Cl2进行低温外延生长[J]
.半导体杂志,1992,17(1):5-7.
4
08年美国多晶硅产能占全球43%[J]
.有机硅氟资讯,2009(5):10-11.
5
肖顺珍,蒋云华.
多晶硅生产中副产物SiCl_4的综合利用[J]
.新材料产业,2009(7):51-56.
被引量:11
6
青青.
用PECVD法从SiH2Cl2—SiH4—H2快速沉积非晶和微晶硅膜[J]
.等离子体应用技术快报,1998(9):3-5.
7
吴洪军,陈秀华,马文会,梅向阳,蒋咏.
太阳电池用多晶硅及其吸杂研究现状[J]
.材料导报,2010,24(15):135-140.
被引量:7
8
青海5年后欲建成3万吨多晶硅产能[J]
.中国粉体工业,2008(5):40-40.
9
沈祖祥.
我国多晶硅产业的发展探讨[J]
.精细与专用化学品,2011,19(12):12-14.
被引量:2
10
杨涛.
改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨[J]
.贵州化工,2009,34(3):7-11.
被引量:42
新材料产业
2013年 第12期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部