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表面粗糙度三维测量和评定的研究 被引量:6

Research of Surface Roughness Three-dimensional Measurement and Evaluation
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摘要 本文论述了应用相移干涉原理测量三维表面粗糙度,给出了测量系统的组成,实现相移的微位移器件压电陶瓷应用,三维表面粗糙度评定参数的确定。
机构地区 哈尔滨工业大学
出处 《计量与测试技术》 2012年第11期31-32,34,共3页 Metrology & Measurement Technique
  • 相关文献

参考文献8

二级参考文献10

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共引文献29

同被引文献48

引证文献6

二级引证文献63

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