摘要
综述了基于飞秒激光微通道制造的研究现状,包括加工机理、工艺技术方面的研究进展,重点介绍了飞秒激光改性辅助化学刻蚀和液体辅助飞秒激光烧蚀两大主要制造方法上的研究成果,概述了目前面临的主要问题与挑战,展望了未来的发展趋势.
Major progresses in mechanism investigations and methodology developments in femtosecond laser fabrication of microehannels are reviewed, especially for femtoseeond laser irradiation followed by chemical etching and liquid assisted femtosecond laser drilling. In addition, key challenges and possible future research trends are briefly discussed.
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第10期991-1003,共13页
Transactions of Beijing Institute of Technology
基金
国家"九七三"计划项目(2011CB013000)
国家自然科学基金资助项目(90923039
51025521)
关键词
微通道
飞秒激光
改性
mieroehannel
femtoseeond laser
modification
