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分子束外延材料从基础研究到产业化 被引量:2

MOLECULAR BEAM EPITAXIAL MATERIALS FROM FUNDAMENTAL RESEARCH TO PRODUCTION
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摘要 文章系统地概述了分子束外延技术和材料从实验室走向产业化的成功之路 ,为读者提供了一个了解高技术发展的全过程 :由物理学家从理论上提出人工超晶格的概念及可能具有的特性 ;由实验物理学家通过分子束外延技术 ,制备出具有高电子迁移率和奇特光学性质的各类异质结构和超晶格量子阱材料 ;再由器件物理学家制备出若干具有重要应用价值的器件与电路 ,如微波毫米波高电子迁移率晶体管及电路、量子阱激光器 ,从而促进了分子束外延技术的发展与完善 .移动通信、移动互联网、地面宽带无线通信、汽车防碰撞雷达、高效太阳能电池等对分子束外延材料的需求为其产业化带来了契机 .我国科技工作者将结合国情走出自己的分子束外延材料产业化之路 . We describe the successful development of molecular beam epitaxy(MBE) from experiment to production,an excellent example for the understanding of the whole progress of high technology development.Theoretical physicists proposed the superlattice concept and predicted its properties,then experimental physicists prepared different heterojunction structures and superlattices with high electron mobility or unique optical properties,after which device physicists fabricated several important devices and circuits,such as microwave and millimeter wave devices,PHEMTs and quantum well lasers,which further promoted MBE development.The demand of MBE materials in cellular phones and the internet,wide band communication,anti\|collision radar for automobiles and high efficiency solar cells have brought great opportunities for MBE production.
作者 周均铭 黄绮
出处 《物理》 CAS 2000年第8期451-456,共6页 Physics
关键词 分子束外延 超晶格 量子阱 产业化 半导体 molecular beam epitaxy, superlattice, quantum well, microwave device, production
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