第十七讲薄膜与表面技术基础

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摘要另外，从降低应力的目的出发，在薄膜与基体的界面处，表面电子密度必须保持连续。因此，在材料筛选上，选择合适的薄膜材料可以在一定程度地防止高应力的产生；在沉积工艺上，如果采取能够减小薄膜和基体之间表面电子密度差的技术，可以有效地减小薄膜中的内应力。最近已经有研究者利用离子注入的方法，调整材料的表面电子密度，相关的实验结果证实，这确实能够很大程度地减小薄膜内的残余应力。

作者张以忱

机构地区东北大学

出处《真空》 CAS 2012年第3期95-96,共2页 Vacuum

关键词薄膜材料表面技术面电子密度基础材料筛选沉积工艺离子注入残余应力

分类号 O484 [理学—固体物理]

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真空

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