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涡轮分子泵特性及磁悬浮技术的应用 被引量:3

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摘要 分子泵作为获得真空环境的核心设备,在半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域有着广泛的应用前景。介绍了涡轮分子泵的工作原理与基本结构特征,重点阐述了牵引式、涡轮式与复合式三种分子泵的结构、材料与性能特征,最后给出了基于磁悬浮技术的高转速涡轮分子泵承载力计算方法。
出处 《通用机械》 2012年第1期86-89,共4页 General Machinery
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参考文献6

二级参考文献11

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共引文献84

同被引文献14

引证文献3

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