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高稳定、高精度、小型化传感器发展的新趋势

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摘要新工艺新功能材料与微电子技术是传感器发展的三大基础技术。本领域的主要关键技术是有限元分析计算软件与CAD设计系统,异型构件的坯件制造、精密微细加工技术,新的联结与封装技术等几个方面,简介了若干实例。

作者宋宗炎

机构地区航空航天工业部七

出处《遥测遥控》 1990年第4期51-55,共5页 Journal of Telemetry,Tracking and Command

关键词传感器微细加工

分类号 TP87 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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遥测遥控

1990年第4期

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