硅基铁电信息存储技术被引量：1

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摘要硅基铁电存储器是通过硅加工工艺在半导体集成电路中集成铁电体材料制成的新型存储器。这种新兴的存储器是铁电硅微集成系统ＦＳＭＩＳ的一个重要应用，有望在低操作电压、低功耗、高存储密度、优异的非挥发存储性能等多方面超出单纯的半导体存储器，并很可能成为２１

作者任天令张盛刘理天李志坚

机构地区清华大学

出处《电子科技导报》 1999年第9期37-40,共4页

基金国家"九五"科技攻关项目国家自然科学基金

关键词铁电存储器非挥发存储器 IC卡 FSMIS技术

参考文献1

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电子科技导报

1999年第9期

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