等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
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3韩伟强,韩高荣,丁子上.纳米硅薄膜制备新技术——逐层生长法[J].材料导报,1995,9(6):44-50.
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4晓青.利用硼等离子体化学输运制备氮化硼薄膜[J].等离子体应用技术快报,1996(7):5-6.
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5周美丽.单体对制备SiOx高阻隔包装薄膜的影响[J].包装世界,2009(3):14-15. 被引量：1
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6周美丽,陈强,岳蕾,葛袁静.聚合单体对制备SiO_x高阻隔性薄膜性能的影响[J].包装工程,2006,27(6):37-39. 被引量：4
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7韩伟强,韩高荣,聂东林,丁子上.高氢稀释硅烷加乙烯法制备纳米硅碳薄膜[J].真空科学与技术,1996,16(6):427-432. 被引量：1
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