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基于钯及其复合膜的光纤氢气传感器特性研究 被引量:8

Research on Characteristic of Fiber Optic Hydrogen Sensor Based on Palladium and Its Composite Films
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摘要 提出了一种新型光纤氢气传感器的制作方法。将光纤的包层侧边部分抛磨成"D"形状,用磁控溅射法在表面镀上钯(Pd)和Pd/WO3氢气敏感薄膜,制作出了倏逝场型光纤氢气传感器。实验结果表明,镀有Pd/WO3复合膜的传感器具有较好的线性关系和可重复性,单模光纤比多模光纤稳定性好。 A novel fiber-optic hydrogen gas sensor is proposed.The side of fiber cladding is polished to "D" shape,Pd and Pd/WO3 hydrogen-sensitive films are coated on the polished surface by magnetron sputtering,then an evanescent field fiber-optic hydrogen sensor is fabricated.The results show that a sensor which has composite Pd/WO3 thin film has good linerarity and repeatability.Meanwhile,compared with multi-mode fiber,single-mode fiber is more reliable.
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期3398-3402,共5页 Acta Optica Sinica
基金 国家自然科学基金(60908020) 武汉理工大学自主创新研究基金(2010-2Y-LX-019)资助课题
关键词 光纤光学 光纤氢气传感器 倏逝场 抛磨 磁控溅射 fiber optics fiber optic hydrogen sensor evanescent field polish magnetron sputtering
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