0.35μm分辨率的远紫外投影光刻物镜被引量：1

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摘要介绍一种２４８ｎｍ谱线投影光刻物镜光学设计结果，提出制造该镜头应解决的一些技术问题。

作者段立安

机构地区电子工业部第四十五研究所

出处《电子工业专用设备》 1999年第1期14-18,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词投影光刻物镜光学设计分辨率投影仪

参考文献3

1符媛英,李艳秋,刘晓林,曹振,刘克.投影光刻物镜波像差的公差分析方法[J].光学技术,2014,40(4):289-294. 被引量：3
2许伟才,黄玮,杨旺.投影光刻物镜倍率的公差分析与补偿[J].光学学报,2011,31(11):265-268. 被引量：21
3马韬,沈亦兵.大视场投影光刻物镜的畸变特性检测[J].光子学报,2005,34(1):46-49. 被引量：12
4高波,庄华洁,马涛,沈亦兵.大视场投影光刻物镜的研究[J].光学仪器,2005,27(5):56-59. 被引量：3
5徐明飞,庞武斌,徐象如,王新华,黄玮.高数值孔径投影光刻物镜的光学设计[J].光学精密工程,2016,24(4):740-746. 被引量：10
6几何光学元器件[J].中国光学,1998(2):9-9.
7马占龙,王君林.超高精度光学元件加工技术[J].红外与激光工程,2013,42(6):1485-1490. 被引量：11
8常军,邹美芳,王蕊瑞,冯树龙,M.M.Talha.All-reflective optical system design for extreme ultraviolet lithography[J].Chinese Optics Letters,2010,8(11):1082-1084. 被引量：3
9张巍,于新峰,周连生,王学亮,倪明阳,彭海峰.精密光学系统的热像差[J].光学精密工程,2015,23(11):3033-3040. 被引量：6
10付贵,李克天,李啟定,李海民.导光板模具精密撞点机刀架装置的研制[J].现代制造工程,2017(1):100-104. 被引量：1

电子工业专用设备

1999年第1期

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