摘要
液晶微透镜阵列是利用液晶的电控双折射特性和微电子工艺制作的微光学元件,具有焦距可调、工作电压低甚至阵列数目、透镜孔径以及形状可调的优点,应用于哈特曼波前探测技术时可以有效提升哈特曼波前传感的动态探测能力,显示出良好的竞争力。简要概述了哈特曼波前传感技术和液晶微透镜阵列制作技术的发展、现状,对不同类型的液晶微透镜阵列制作技术的优缺点进行了分析,并着重介绍了基于液晶空间光调制器的微透镜阵列在波前探测领域的应用。
Liquid crystal microlens array is based on the micro-machine technology and electrically controllable birefringence property of liquid crystal. Liquid crystal microlens array exhibit electrically tunable focus, low operating voltage, tunable lens array and lens aperture. Applied to Hartmann wave front sensor, effectively the dynamic range of wave front sensing is enhanced. The development and situation of Hartmann technology and liquid crystal microlens array are introduced. Advantage and weakness of the technology are compared. Application of liquid crystal spatial light modulator in the filed of wave front sensor is discussed.
出处
《光电子技术》
CAS
北大核心
2010年第3期145-153,共9页
Optoelectronic Technology
基金
中国工程物理研究院科学技术发展基金资助项目(2007A01003
2010B0401049)
关键词
液晶器件
微透镜阵列
波前传感
电控可调焦距
空间光调制器
liquid crystal device
microlens array
wave front sensor
electrically tunable focus
spatial light modulator
