摘要
】微硅加速度计是近年来发展起来的新型器件，在结构设计阶段必须对其进行力学分析，以期对使用条件下的摆片位移、应力等作到心中有数。本文采用有限元分析方法对挠性摆式微硅加速度计进行有限元分析，其中包括对未封装及封装后实体单元进行敏感轴位移、侧向位移、横向灵敏度、受力情况等分析。分析结果表明所设计的微硅加速度计符合仪表性能要求。
Micromechanical silicon accelerometer is developed recently.We must study micro structure and mechanical characteristics of a micromechanical accelerometer in design stage.ln this paper,we analyzed the mechanical characteristics of a micromechanical flexure pendulous silicon accelerometer with the method of finite element analysis.It included the displacement along sensing axis,the displacement along cross axis,cross axis sensitivity,stress and strain,etc.The analyses result is satisfied.
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1999年第2期1-3,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
挠性摆式
加速度计
有限元
微硅加速度计
Flexure Pendulum,Micromechanical Accelerometer,Finite Element Analysis.
