摘要
本文研究了一种由光束激励并检测的微谐振型光纤传感器,说明了利用单昌硅制作 微型硅谐振器的制作 方法。在实验的基础上分析了谐振器在光激励下的振动机理,给出了测量压力参数的原理。
出处
《测试技术学报》
1998年第2期8-12,共5页
Journal of Test and Measurement Technology
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